ASML将去四代EUV光刻机进度表露：正背1nm迈进

https://img.3dmgame.com/uploads/images/news/20210318/1616055035_201466.jpg

日前，ASML产品营销总监Mike Lercel背媒体分享了EUV极紫中）光刻机的最新停顿 。ASML现在主力出货的EUV光刻机别离是NXE：3400B战3400C ，它们的数值孔径NA）均为0.33，日